走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2019002224
開放特許情報登録日
2019/12/6
最新更新日
2019/12/6

基本情報

出願番号 特願2016-234584
出願日 2016/12/1
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2018-091695
公開日 2018/6/14
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 観測画像に歪みが生じるのを抑制することができる走査型プローブ顕微鏡を提供することができる。
技術概要
観測試料を載置する試料ステージと、
前記観測試料の表面状態または動態を観測する探針と、
前記試料ステージを駆動するスキャナと、
前記スキャナの動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、所定の周期で振幅の増加および減少を繰り返す走査電圧を前記スキャナに印加し、
前記走査電圧は、振幅の増加開始直後の第1の期間における振幅の増加の加速度が正の値である
走査型プローブ顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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