プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

開放特許情報番号
L2019002221
開放特許情報登録日
2019/12/6
最新更新日
2019/12/6

基本情報

出願番号 特願2017-095597
出願日 2017/5/12
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2018-192381
公開日 2018/12/6
発明の名称 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
目的 プラズマにより粉粒体を処理し、かつ処理効率および信頼性に優れたプラズマ処理装置を提供する。
効果 プラズマの熱による影響を抑えながら粉粒体にプラズマ処理を施すことができ、かつ処理効率および信頼性に優れたプラズマ処理装置が得られる。
技術概要
誘電体で構成され、粉粒体を保持する反応容器と、
前記反応容器に設けられた第1電極および第2電極と、
前記反応容器の内面に沿って前記内面との間に空隙を保って回転可能な導電性の攪拌羽根と、
前記攪拌羽根を回転させるモーターと、
前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と、
を備えるプラズマ処理装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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