表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブ

開放特許情報番号
L2019002208
開放特許情報登録日
2019/12/4
最新更新日
2019/12/4

基本情報

出願番号 特願2017-172666
出願日 2017/9/8
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2019-049420
公開日 2019/3/28
発明の名称 表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブ
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブ
目的 生理液中環境に置かれた生きた生物試料等にダメージを与えることなく、かつ、高速動作と高い空間分解能とを実現する表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブを提供する。
効果 生きた生物試料等が置かれた溶液の環境をほとんど変化させずに、かつ、高速動作と高い空間分解能とを実現する表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブを提供することができる。
技術概要
イオン電流を利用して、長尺のプローブを走査しながら試料の表面形状および状態を計測する表面計測方法であって、
前記プローブは、前記プローブの長尺方向と同一の方向に長尺な形状を有しかつ前記長尺方向の両端を貫通する貫通孔を有し、
第1の電解液中に前記試料を配置する試料準備工程と、
前記貫通孔内に、前記第1の電解液よりもイオン濃度が高い第2の電解液を充填する充填工程と、
前記第1の電解液に少なくとも一部が浸された第1の電極と、前記第2の電解液に少なくとも一部が浸された第2の電極との間に、前記第1の電解液と前記第2の電解液とを介して流れるイオン電流を計測する電流計測工程と、
計測された前記イオン電流に基づいて、前記プローブの高さを調整する高さ調整工程と、
前記貫通孔内に前記第2の電解液が充填された前記プローブを、前記プローブの高さ方向と直交する方向に走査し、前記試料の表面形状および状態を計測する走査工程と、
を含む
表面計測方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2019 INPIT