適用製品
表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブ
目的
生理液中環境に置かれた生きた生物試料等にダメージを与えることなく、かつ、高速動作と高い空間分解能とを実現する表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブを提供する。
効果
生きた生物試料等が置かれた溶液の環境をほとんど変化させずに、かつ、高速動作と高い空間分解能とを実現する表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブを提供することができる。
技術概要
イオン電流を利用して、長尺のプローブを走査しながら試料の表面形状および状態を計測する表面計測方法であって、
前記プローブは、前記プローブの長尺方向と同一の方向に長尺な形状を有しかつ前記長尺方向の両端を貫通する貫通孔を有し、
第１の電解液中に前記試料を配置する試料準備工程と、
前記貫通孔内に、前記第１の電解液よりもイオン濃度が高い第２の電解液を充填する充填工程と、
前記第１の電解液に少なくとも一部が浸された第１の電極と、前記第２の電解液に少なくとも一部が浸された第２の電極との間に、前記第１の電解液と前記第２の電解液とを介して流れるイオン電流を計測する電流計測工程と、
計測された前記イオン電流に基づいて、前記プローブの高さを調整する高さ調整工程と、
前記貫通孔内に前記第２の電解液が充填された前記プローブを、前記プローブの高さ方向と直交する方向に走査し、前記試料の表面形状および状態を計測する走査工程と、
を含む
表面計測方法。
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