金属化合物結晶性膜およびその製造方法

基本情報

出願番号	特願2016-154759
出願日	2016/8/5
出願人	国立大学法人東京工業大学
公開番号	特開2018-020946
公開日	2018/2/8
登録番号	特許第6945215号
特許権者	国立大学法人東京工業大学
発明の名称	金属化合物結晶性膜およびその製造方法
技術分野	無機材料、電気・電子
機能	材料・素材の製造
適用製品	金属酸化物等の金属化合物結晶性膜およびその製造方法
目的	低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属化合物結晶性膜を提供する。
効果	低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属酸化物等の金属化合物結晶性膜を提供し得る。
技術概要	面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって；化合物が酸化物または窒化物であり；かつ面内結晶方位の分散が３０度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人東京工業大学