金属化合物結晶性膜およびその製造方法
- 開放特許情報番号
- L2019002006
- 開放特許情報登録日
- 2019/12/9
- 最新更新日
- 2021/10/28
基本情報
出願番号 | 特願2016-154759 |
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出願日 | 2016/8/5 |
出願人 | 国立大学法人東京工業大学 |
公開番号 | |
公開日 | 2018/2/8 |
登録番号 | |
特許権者 | 国立大学法人東京工業大学 |
発明の名称 | 金属化合物結晶性膜およびその製造方法 |
技術分野 | 無機材料、電気・電子 |
機能 | 材料・素材の製造 |
適用製品 | 金属酸化物等の金属化合物結晶性膜およびその製造方法 |
目的 | 低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属化合物結晶性膜を提供する。 |
効果 | 低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属酸化物等の金属化合物結晶性膜を提供し得る。 |
技術概要![]() |
面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって;化合物が酸化物または窒化物であり;かつ面内結晶方位の分散が30度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。 |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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