金属化合物結晶性膜およびその製造方法

開放特許情報番号
L2019002006
開放特許情報登録日
2019/12/9
最新更新日
2019/12/9

基本情報

出願番号 特願2016-154759
出願日 2016/8/5
出願人 国立大学法人東京工業大学
公開番号 特開2018-020946
公開日 2018/2/8
発明の名称 金属化合物結晶性膜およびその製造方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 金属酸化物等の金属化合物結晶性膜およびその製造方法
目的 低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属化合物結晶性膜を提供する。
効果 低コストで、面内方位の分散が小さい、高品質の金属酸化物等の金属化合物結晶性膜を提供し得る。
技術概要
面内に異方性を有し、かつ表面が非晶質である基板上の金属化合物結晶性膜であって;化合物が酸化物または窒化物であり;かつ面内結晶方位の分散が30度以下の擬単結晶であることを特徴とする金属化合物結晶性膜。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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