吸引方法及び吸引装置並びにレーザ加工方法及びレーザ加工装置

開放特許情報番号
L2019001950
開放特許情報登録日
2019/11/8
最新更新日
2019/11/8

基本情報

出願番号 特願2014-066118
出願日 2014/3/27
出願人 福井県
公開番号 特開2015-188779
公開日 2015/11/2
登録番号 特許第5663776号
特許権者 福井県
発明の名称 吸引方法及び吸引装置並びにレーザ加工方法及びレーザ加工装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 レーザ加工方法及びレーザ加工装置
目的 開いた系に設置された対象物表面の所定範囲を臨界圧力以下に減圧して、表面に生じる飛散物を吸引して回収することができる吸引方法及び吸引装置並びにこれらを用いたレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供する。
効果 対象物が大気中にある場合においても、チャンバー内に移すことなく、簡便な方法および装置により対象箇所を臨界圧力以下に減圧し、吸引することが可能となる。また、本発明により固体および液体の吸引物を吸引し回収することが可能であり、高い回収率が得られる。また、従来の吸引装置よりも減圧効果が高いため、従来よりも吸引物の吸引速度を高速化することができる。
技術概要
開いた系に設置された対象物と所定の作動距離だけ離れた状態に配置された吸引口と連通する減圧室を減圧して当該吸引口より気体を吸引することで対象物表面の所定範囲を減圧する吸引方法において、前記減圧室内部の圧力を前記吸引口から吸い込む気体の速度が臨界状態となる臨界圧力以下となるように設定し、前記対象物に向けて気体を噴出する噴出口における気体の噴出速度が当該噴出口から噴出する気体の定常かつ静止状態時の音速で除した値であるマッハ数で0.2より大きくなるように設定し、前記噴出口より気体を噴出するとともに前記吸引口により気体を吸引して前記対象物表面と前記吸引口との間に前記吸引口を囲むように旋回流を形成することで、前記吸引口から前記対象物表面までの前記旋回流の中心領域の圧力を前記臨界圧力以下に減圧して吸引することを特徴とする吸引方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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