| 出願番号 |
特願2016-115289 |
| 出願日 |
2016/6/9 |
| 出願人 |
福井県 |
| 公開番号 |
特開2017-217677 |
| 公開日 |
2017/12/14 |
| 登録番号 |
特許第6808130号 |
| 特許権者 |
福井県 |
| 発明の名称 |
レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
| 技術分野 |
機械・加工 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
波長の異なる２つのレーザ光を重畳することでレーザ加工の品質向上を図るもの |
| 目的 |
シングルモードファイバーレーザを用いて微小なスポット径でレーザ加工を行う際に課題となるレーザ照射により生じる溶融物や蒸発物の再付着物を効率よく除去すること、またレーザ照射により新たに形成される加工面の形状を制御することで、高品質なレーザ微細加工を実現するためのレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供する。 |
| 効果 |
加工面の形状を制御しテーパ角度を変化させることが可能であり、前記入射角度に関して０．６°を基準として０．５から０．７°の範囲に設定することで、テーパ角度０°近傍の加工面が得られる。また、レーザ加工においてレーザ照射により生じる加工対象物の溶融物や蒸発物を除去することが可能である。 |
技術概要
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対象となる加工対象物の熱伝導率および融点である熱物性に応じて連続発振またはパルス発振を選択して行うレーザ発振手段を有するシングルモードファイバーレーザ発振器から出射される中心波長が近赤外線領域であるレーザ光の光軸を公転軸として公転する中心波長が可視光領域でかつ１ナノ秒以下のパルス幅と４０μＪ以上のパルスエネルギーを有するパルスレーザ光が加工対象物表面に集光した後に、シングルモードファイバーレーザ光とパルスレーザ光の一部が重畳した状態で、集光レンズ内に入射し、パルスレーザ光が任意の公転半径で公転運動を維持した状態で、シングルモードファイバーレーザ光とパルスレーザ光が加工対象物表面の同一箇所に集光することで、光軸を基準として公転半径を集光レンズの焦点距離で除した値の逆正接から得られる入射角度を有するパルスレーザ光がシングルモードファイバーレーザ光およびパルスレーザ光の集光により加工対象物に新たに形成される加工面に対する入射方向を変化させながら、熱物性に応じて入射角度が１．２°以下の範囲で加工面に入射することで、加工面の形状を変化させることおよび加工面に後処理加工を付与することを特徴とするレーザ加工方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)