真空作成装置

基本情報

出願番号	特願2017-218434
出願日	2017/11/13
出願人	国立研究開発法人情報通信研究機構
公開番号	特開2019-091576
公開日	2019/6/13
登録番号	特許第7008976号
特許権者	国立研究開発法人情報通信研究機構
発明の名称	真空作成装置
技術分野	電気・電子、機械・加工
機能	機械・部品の製造
適用製品	真空作成装置
目的	コンパクトであっても，イオンポンプとゲッターポンプとを併用できる真空作成装置を提供する。
効果	コンパクトであっても，イオンポンプとゲッターポンプとを併用できる真空作成装置が提供できかつ中空空間を確保できることにより内部に機能性ユニットを配置する事が可能である。
技術概要	円筒状のケーシング（１）と，前記円筒状のケーシング（１）の円筒部分の外側から前記円筒状のケーシングを加熱するためのヒータ（３）を取り付けるためのヒータ取り付け部（５）と，前記円筒状のケーシング（１）の内壁と接触し，前記ヒータ（３）からの熱が伝わるゲッターエレメント（９）とを含む，真空作成装置（１１）。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

アピール内容	国立研究開発法人情報通信研究機構(NICT)では、みなさまにご活用いただきたい成果(シーズ)を、以下に公開しています。製品化や技術移転など、お気軽にご相談ください。 https://www2.nict.go.jp/oihq/seeds/

登録者名称	国立研究開発法人情報通信研究機構