ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法

開放特許情報番号
L2019001712
開放特許情報登録日
2019/9/27
最新更新日
2019/9/27

基本情報

出願番号 特願2018-085088
出願日 2018/4/26
出願人 国立大学法人茨城大学
公開番号 特開2019-007076
公開日 2019/1/17
発明の名称 ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 ターゲットの損耗が交換タイミングに達したときにスパッタリングを停止させるターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法
目的 ターゲットの損耗が交換タイミングに達したことを容易かつ迅速に低コストで判定し、スパッタリングを停止させるためのターゲット損耗検出機構を提供する。
効果 ターゲットの損耗が交換タイミングに達したことを容易かつ迅速に低コストで判定し、スパッタリングを停止させることにより、成膜品質の劣化を防止するとともに、スパッタ装置への損傷を防止することができる。
技術概要
ターゲット損耗検出機構は、チャンバ内に載置された基板と、基板に対してスパッタリングにより薄膜を形成するための材料からなるターゲットと、ターゲットの裏面に接してターゲットをチャンバ内に支持するとともに冷却するためのバックプレートと、ターゲットの裏面を検出すべくバックプレート側に取り付けられた光検出手段と、を有し、ターゲットは、スパッタリングを停止させるエロージョン領域の深さ位置まで、裏面側から外周側に出ない範囲で予め切削された背面溝が形成され、光検出手段は、背面溝が形成された範囲内に配置され、スパッタリングによってターゲットのエロージョン領域が背面溝に達することで貫通した損耗孔を通過するプラズマ光の有無を検出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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