双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法

開放特許情報番号
L2019001645
開放特許情報登録日
2019/10/4
最新更新日
2019/10/4

基本情報

出願番号 特願2018-503354
出願日 2017/2/28
出願人 国立大学法人東京工業大学
公開番号 WO2017/150574
公開日 2017/9/8
発明の名称 双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法
目的 吸着面に微細毛構造を有し、プラスチックシートなどの薄膜誘電体に対応し得る双極型静電チャックを提供することを目的とする。
効果 各モジュールが微細毛を有しているため,静電吸着面に柔軟性を確保することが可能であり、従来円滑にハンドリングできない(吸着できてもうまく離脱できなかったり,吸着時に対象に損傷を与えたりする)ものを自由自在に吸着・離脱可能にすることができる。
技術概要
吸着対象物を吸着するための静電チャック吸着面に微細毛構造を有し、吸着面の微細毛の先端部分には正極および負極間に絶縁層が配置され、正極と負極間に電圧を印加することにより静電力が生じ、静電チャック吸着面に吸着対象物が吸着されるように構成してなる双極型静電チャックモジュール。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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