高感度昇温脱離ガス分析装置

開放特許情報番号
L2019001637
開放特許情報登録日
2019/10/4
最新更新日
2019/10/4

基本情報

出願番号 特願2017-034677
出願日 2017/2/27
出願人 国立大学法人東京工業大学
公開番号 特開2018-141657
公開日 2018/9/13
発明の名称 高感度昇温脱離ガス分析装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 高感度昇温脱離ガス分析装置
目的 微小なサンプルから放出される超微小量のガスであっても高感度に検出可能な高感度昇温脱離ガス分析装置を提供する。
効果 微小なサンプルから放出される超微小量のガスであっても高感度に検出可能である。
技術概要
サンプルから放出される超微小量のガスを検出可能な高感度昇温脱離ガス分析装置であって、該高感度昇温脱離ガス分析装置は、
ガス含有量の低い超低ガス放出処理済材料からなる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルの置かれるサンプル台と、
前記真空チャンバの外部からサンプル台に置かれるサンプルを非接触で加熱するための加熱手段と、
前記真空チャンバに接続され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルから脱離するガスを測定するための検出部と、
前記真空チャンバ内を真空状態とするために真空チャンバに接続され、複数のポンプを直列接続することでガス圧縮率を高めるように構成されるタンデム型ポンプと、
前記タンデム型ポンプと検出部との間に配置され、排気速度を小さくすると共に検出部側へのガスの戻りを抑制するためのオリフィスと、
を具備することを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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