液体導入プラズマシステム

基本情報

出願番号	特願2007-522202
出願日	2006/4/4
出願人	国立大学法人東京工業大学
公開番号	WO2006/137205
公開日	2006/12/28
登録番号	特許第4560634号
特許権者	国立大学法人東京工業大学
発明の名称	液体導入プラズマシステム
技術分野	情報・通信
機能	材料・素材の製造
適用製品	液体導入プラズマシステム
目的	液体をほぼ１００％の導入効率でプラズマ中に導入できる液体導入プラズマシステムを提供する。
効果	液体試料をプラズマ中に輸送し、試料の微量元素分析、ＰＣＢ、フロンなどの物質の分解処理、ＣＶＤなどのプラズマプロセッシング処理、新物質の作成などの種々の処理に使用することができる。
技術概要	プラズマが生じるプラズマ室と、プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、液体を一滴ずつ噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステム。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人東京工業大学