薄膜形成装置及び薄膜形成方法

開放特許情報番号
L2019001224
開放特許情報登録日
2019/7/24
最新更新日
2019/7/24

基本情報

出願番号 特願2012-508091
出願日 2011/3/30
出願人 国立大学法人神戸大学
公開番号 WO2011/122018
公開日 2011/10/6
登録番号 特許第5812496号
特許権者 国立大学法人神戸大学
発明の名称 薄膜形成装置及び薄膜形成方法
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 薄膜形成装置及び薄膜形成方法
目的 大型の基板に対しても、均一な膜厚及び膜質を有する有機薄膜を高い生産性で形成することができる薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供する。
効果 大型の基板であっても、基板の成膜面全体にわたって、膜厚や膜質のばらつきを抑制して、均一な膜厚や膜質を有する高品位な薄膜を短時間で形成することができる。
技術概要
成膜室内で有機材料からなる膜原料を気化させて基板の成膜面に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記膜原料を収容する収容室を有し、貫通孔を有するとともに前記基板に配置されるマスクに向けて線状に開口する供給口が前記収容室に設けられた線状蒸着源と、
前記収容室に収容される前記膜原料を加熱して気化させる加熱部と、
前記マスクと前記供給口とを所定距離だけ離間させながら、前記基板の成膜面と平行な方向であって、かつ、前記線状蒸着源の長手方向に対して略直交する方向に、前記線状蒸着源及び前記基板保持部の少なくとも一方を移動させる第1移動機構部と、
前記成膜室内の真空度を制御する真空度制御部とを備える薄膜形成装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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