逆光電子分光測定装置及び逆光電子分光測定用基板並びに逆光電子分光測定方法

開放特許情報番号
L2019001053
開放特許情報登録日
2019/7/3
最新更新日
2019/7/3

基本情報

出願番号 特願2017-160682
出願日 2017/8/23
出願人 国立大学法人千葉大学
公開番号 特開2019-039728
公開日 2019/3/14
発明の名称 逆光電子分光測定装置及び逆光電子分光測定用基板並びに逆光電子分光測定方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 逆光電子分光測定装置及び逆光電子分光測定用基板並びに逆光電子分光測定方法
目的 信号強度を高めた高感度な逆光電子分光測定装置及び逆光電子分光測定用基板並びに逆光電子分光測定方法を提供する。
効果 信号強度を高めた高感度な逆光電子分光測定装置及び逆光電子分光測定用基板並びに逆光電子分光測定方法を提供する。
技術概要
本発明の一観点に係る逆光電子分光測定方法は、基板と、基板上に配置された表面プラズモンカップリング部材を有する測定用基板に測定対象試料を配置し、電子を測定対象試料に照射し、電子の照射により発生する発光を測定するものである。また、本発明の一観点に係る逆光電子分光測定用基板は、基板と、前記基板上に配置された表面プラズモンカップリング部材を有する。また、本発明の一観点に係る逆光電子分光測定装置は、基板と、基板上に配置された表面プラズモンカップリング部材を有し、測定用試料を配置するための測定用基板と、測定用基板に電子を照射するための電子照射装置と、測定用基板上の前記測定用試料から放出される光を測定するための光検出器と、を有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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