適用製品
イオン化ガス検出器及びイオン化ガス検出方法
目的
簡易な構造でイオン電流を検波することで、イオンの極性別にイオン電流を測定し、被測定ガスの濃度を検出するものであって、直流印加方式による直流ドリフトの影響を受けず、たとえ、電極が汚染されても（絶縁電極を用いても）検出感度を損なうことがなく、さらに、電極間の寄生容量の影響をも無くすことが可能なイオン化ガス検出器及びイオン化ガス検出方法を提供する。
効果
直流印加方式による検出と比して、温度ドリフト等の直流ドリフトの影響が少なく、また、電極が汚染されても（絶縁電極を用いても）、高い検出感度が得られ、さらに、電圧極性を反転させることが可能であることから、プラスイオンとマイナスイオンの測定を連続的に行うことができる。そして、電極間の寄生容量の影響も無くすことが可能である。
技術概要
イオン化された被測定対象ガスのイオンを検出する少なくとも１対のイオン検出電極と、
前記イオン検出電極に対して所定の電圧を印加する電圧極性が反転可能に構成された電極印加手段と、
前記電極印加手段による電圧の印加により生じる電荷を蓄積するチャージ用コンデンサを備えるチャージアンプ回路と、
前記チャージアンプ回路のチャージ用コンデンサに蓄積される電荷量の時間的変化に基づいて、前記被測定対象ガスのイオンのイオン電流値を算出するイオン電流算出手段と、
前記イオン電流算出手段により算出されたイオン電流値から、前記被測定対象ガスの濃度を判定する濃度判定手段と、
前記チャージアンプ回路のチャージ用コンデンサに蓄積されている電荷量に応じて、前記電極印加手段の極性を反転させる電圧極性制御手段と、
を有することを特徴とするイオン化ガス検出器。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
