| 出願番号 |
特願2011-227936 |
| 出願日 |
2011/10/17 |
| 出願人 |
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
| 公開番号 |
特開2013-088246 |
| 公開日 |
2013/5/13 |
| 登録番号 |
特許第5767076号 |
| 特許権者 |
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
| 発明の名称 |
熱型加速度センサー |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
加熱・冷却 |
| 適用製品 |
加速度センサー |
| 目的 |
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸ともに同じ感度が得られ、各軸の検出値にクロストークがなく、３軸成分を完全分離して検出可能である熱式加速度センサーであって加速度方向の検出精度が一定となる熱式加速度センサーを提供することを課題とするものである。また、熱式加速度センサーをいずれの方向へ向けても鉛直方向に対する傾き検出の校正が不要な熱式加速度センサーを提供する。 |
| 効果 |
単結晶シリコン基板の異方性エッチングによって形成した空間に発熱手段、測温手段を配置したので、対称性が優れており、三軸のすべての方向について、正と負の加速度を直接検出することが可能であって、高精度の加速度の検出が可能な三軸加速度センサーを提供することができる。 |
技術概要
 |
単結晶シリコン基板の異方性エッチングによって傾斜面からなる貫通孔を形成した基板と、単結晶シリコン基板の異方性エッチングによって凹部を形成した傾斜面を有する基板のそれぞれの複数枚を積層して前記貫通孔と前記凹部によって形成した測定空間と、前記測定空間にいずれかの基板に一体に形成した前記測定空間に位置する複数の発熱手段と複数の測温手段とを設けたことを特徴とする三軸加速度センサー。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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