| 出願番号 |
特願2011-287408 |
| 出願日 |
2011/12/28 |
| 出願人 |
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
| 公開番号 |
特開2013-136110 |
| 公開日 |
2013/7/11 |
| 登録番号 |
特許第5917139号 |
| 特許権者 |
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
| 発明の名称 |
ダイヤモンド膜の研磨方法および装置 |
| 技術分野 |
機械・加工 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ダイヤモンド膜の研磨方法および装置 |
| 目的 |
ダイヤモンド膜表面の平滑化に伴う発熱量の低下による研磨速度の減速という問題を払拭する。 |
| 効果 |
熱風加熱により、ダイヤモンド膜表面の平滑化による発熱量の低下を伴う研磨速度の減速という問題を払拭することができる。これにより、効率よいダイヤモンド膜の研磨を行うことができる。 |
技術概要
 |
Ｆｅ、Ｔｉ、Ｂａ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｖ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉの金属を単独もしくは複合で用いた金属製ブラシ毛を束ねてなるブラシ工具の当該ブラシ毛を当接させ、当該ブラシ工具を回転させることによってダイヤモンド膜の研磨を行うダイヤモンド膜研磨方法であって、
少なくとも当該ブラシ毛に対し熱風を噴射する
ことを特徴とすることを特徴とするダイヤモンド膜研磨方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)