圧力センサ及び圧力センサの製造方法

開放特許情報番号
L2019000970
開放特許情報登録日
2019/6/21
最新更新日
2019/6/21

基本情報

出願番号 特願2008-008021
出願日 2002/11/28
出願人 株式会社フジクラ
公開番号 特開2008-164620
公開日 2008/7/17
登録番号 特許第4901767号
特許権者 株式会社フジクラ
発明の名称 圧力センサ及び圧力センサの製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 圧力センサ
目的 本発明は、被測定圧力媒体に対する耐久性能を向上させることができ、しかも小型で安価な圧力センサ及び圧力センサの製造方法を提供することが目的である。
効果 本発明に係る圧力センサによれば、シリコンチップのセンサ回路が形成された面が台座に対向して空間を形成するように台座とシリコンチップとが接続されているので、被測定圧力媒体に晒されることがない。その結果、被測定圧力媒体に水分やイオンが含まれていても信頼性を損なうことなく長期間の動作が可能であり、被測定圧力媒体に対する耐久性能が高く、高い信頼性が得られる。また、被測定圧力媒体がセンサ回路が形成されていない側に当たる構造の圧力センサを低コストで実現できる。
技術概要
 
本発明は、圧力センサ及び圧力センサの製造方法に関し、特に、圧力センサの耐環境性能を向上させる技術に関するものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社フジクラ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2019 INPIT