圧力センサ及びその製造方法と、該圧力センサを備えた電子部品

開放特許情報番号
L2019000969
開放特許情報登録日
2019/6/21
最新更新日
2019/6/21

基本情報

出願番号 特願2008-114263
出願日 2008/4/24
出願人 株式会社フジクラ
公開番号 特開2009-264905
公開日 2009/11/12
登録番号 特許第5291979号
特許権者 株式会社フジクラ
発明の名称 圧力センサ及びその製造方法と、該圧力センサを備えた電子部品
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 圧力センサ
目的 本発明は、被測定圧力以外の圧力変動をもたらす応力を抑制することができ、圧力センサの出力特性変化が生じがたい圧力センサを提供することを目的とする。
効果 本発明の圧力センサによれば、半導体基板内部の外縁領域に第二空隙部が配されていることで、バンプを介して伝わる被測定圧力以外の圧力変動をもたらす応力を該第二空隙部で緩和することができる。したがって、特性変動の小さい圧力センサを提供することができる。
技術概要
 
本発明は圧力センサに係り、より詳しくは、被測定圧力以外により生じる応力が緩和され、特性変動が生じがたい圧力センサ及びその製造方法と、該圧力センサを備えた電子部品とに関するもの。
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社フジクラ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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