圧力センサモジュール及び電子部品

開放特許情報番号
L2019000968
開放特許情報登録日
2019/6/21
最新更新日
2019/6/21

基本情報

出願番号 特願2009-094079
出願日 2009/4/8
出願人 株式会社フジクラ
公開番号 特開2009-282015
公開日 2009/12/3
登録番号 特許第5331546号
特許権者 株式会社フジクラ
発明の名称 圧力センサモジュール及び電子部品
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 圧力センサモジュール
目的 本発明は、積層基板に生じた応力により圧力センサの出力特性が変動し難く、所望の出力特性を備えることを可能とした圧力センサモジュールを提供することを目的とする。
効果 本発明によれば、圧力センサと電気的に接続される配線基材は、積層基板中に配されて圧力センサが実装されている。積層基板に生じた応力は、該積層基板の最表面が最大となるが、本発明では配線基材は積層基板中に配されているため、圧力センサに加わる応力は、従来の圧力センサモジュールに実装された場合よりも小さくすることができる。ゆえに、該応力によって圧力センサの実装前後に生じる出力特性の変動を抑制することができ、所望の出力特性を備えた圧力センサモジュールを提供することができる。
技術概要
 
本発明は圧力センサモジュールに係り、より詳しくは、ダイアフラム部により圧力を感知する圧力センサの特性変動が小さいモジュール構造、及び該圧力センサとASIC(Application Specific Integrated Circuit) や他の半導体デバイスとを高密度かつ小型にパッケージできる構造に関するものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社フジクラ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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