表面処理方法、及び、表面処理装置

開放特許情報番号

L2019000690

開放特許情報登録日

2019/5/22

最新更新日

2019/5/22

基本情報

出願番号	特願2012-061001
出願日	2012/3/16
出願人	国立大学法人金沢大学
公開番号	特開2013-194265
公開日	2013/9/30
登録番号	特許第5984110号
特許権者	国立大学法人金沢大学
発明の名称	表面処理方法、及び、表面処理装置
技術分野	金属材料
機能	表面処理
適用製品	表面処理方法、及び、表面処理装置
目的	被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、より高速に熱プラズマによる表面処理を行う表面処理方法を提供する。
効果	被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、より高速に熱プラズマによる表面処理を行うことができる。
技術概要	熱プラズマによって試料の表面処理を行うための表面処理方法であって、 コイルに第一の振幅を有する交流電流を流すことによって第一の磁界を前記熱プラズマに印加する第一印加ステップと、 前記コイルに前記第一の振幅とは異なる第二の振幅を有する交流電流を流すことによって第二の磁界を前記熱プラズマに印加する第二印加ステップと、 前記熱プラズマの発光スペクトルを計測する計測ステップとを含み、 前記熱プラズマ中に配置された前記試料の表面温度を所定範囲内に維持し、かつ、前記計測ステップで計測される前記熱プラズマの発光スペクトルに含まれる第一の波長成分の強さが、当該第一印加ステップと、当該第二印加ステップとでは、所定値以上異なるように、当該第一印加ステップと当該第二印加ステップとが繰り返される 表面処理方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	有限会社金沢大学ティ・エル・オー

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】