プラズマ発生装置、および、プラズマ発生方法

開放特許情報番号
L2019000687
開放特許情報登録日
2019/5/22
最新更新日
2019/5/22

基本情報

出願番号 特願2014-522433
出願日 2013/6/26
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2014/002493
公開日 2014/1/3
登録番号 特許第5959025号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 プラズマ発生装置、および、プラズマ発生方法
技術分野 電気・電子、金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ発生装置、および、プラズマ発生方法
目的 熱プラズマを安定的に発生させることができるプラズマ発生装置等を提供する。
効果 熱プラズマを安定的に発生させることができるプラズマ発生装置等を提供することができる。
技術概要
扁平形状のチャンバであって、当該チャンバの内部に所定方向にプラズマガスが流通するチャンバと、
前記チャンバに対して前記所定方向に直交する方向に交播磁界を印加することにより、前記チャンバの内部に熱プラズマを発生させる磁界印加部とを備え、
前記磁界印加部は、
前記チャンバを挟むように配置されるU字形状の磁性体コアであって、前記チャンバに近づく向きに突出する一対の突起部が複数設けられた磁性体コアと、
前記磁性体コアの一部に巻回されたコイルとを有する
プラズマ発生装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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