プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置

開放特許情報番号
L2019000684
開放特許情報登録日
2019/5/22
最新更新日
2019/5/22

基本情報

出願番号 特願2012-171342
出願日 2012/8/1
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2014-032771
公開日 2014/2/20
登録番号 特許第6061288号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ生成装置用の電源及びプラズマ生成装置
目的 従来よりも構成が簡便でしかも効率良くプラズマを生成できる電源を提供する。
効果 昇圧トランス(例えばネオントランス)で、数十Hz、100V〜200V程度の低周波数かつ低電圧の商用電源から高電圧を生成し、生成された高電圧に、高電圧交流用シリコンダイオードの非線形特性による波形歪(つまり高周波成分)を与えることができる。これにより、プラズマ生成に適した、急峻な電圧変化を含んだ高電圧が得られる。昇圧トランス及び高電圧交流用シリコンダイオードは何れも安価でかつ入手が容易なため、前記電源は非常に簡便に構成できる。
技術概要
負荷であるプラズマリアクターに電力を供給するための電源であって、
昇圧トランスと、
前記昇圧トランスと前記負荷との間に直列に接続される複数の高電圧交流用シリコンダイオードと
を備える電源。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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