原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具

開放特許情報番号
L2019000680
開放特許情報登録日
2019/5/22
最新更新日
2019/5/22

基本情報

出願番号 特願2010-126027
出願日 2010/6/1
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2011-252764
公開日 2011/12/15
登録番号 特許第5633089号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具
目的 カンチレバーをZ方向に高速に駆動した場合にも、光てこ法等の光を使った測定法でカンチレバーと試料との間の原子間力による相互作用量を正確に検出できる原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具を提供すること。
効果 カンチレバーをZ方向に高速に駆動した場合にも、光てこ法等の光を使った測定法でカンチレバーの試料との間の原子間力による相互作用量を正確に検出できる。
技術概要
探針を有するカンチレバーを備え、前記カンチレバーと試料との試料面方向の相対位置を変えながら、前記カンチレバーと試料との間の原子間力によって生ずる相互作用量が一定となるように、試料面に対する前記カンチレバーの高さ方向の位置を制御することで、試料の表面の情報を取得する原子間力顕微鏡であって、さらに、
前記カンチレバーを支持するカンチレバー支持具と、
前記高さ方向を駆動方向として前記カンチレバー支持具を駆動するZスキャナとを備え、
前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、前記カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している
ことを特徴とする原子間力顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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