保護膜作製装置

開放特許情報番号
L2019000654
開放特許情報登録日
2019/5/21
最新更新日
2020/4/20

基本情報

出願番号 特願2018-159025
出願日 2018/8/28
出願人 国立大学法人信州大学
公開番号 特開2020-034323
公開日 2020/3/5
発明の名称 保護膜作製装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 FIB装置のサンプル作製等に利用する保護膜作製装置
目的 材料の狙った微小領域にダメージを発生させることなく保護膜を作製する技術を提供する。
効果 FIB加工での保護膜等を作製する際に、サンプル表面に触れることなく狙った微小領域にのみ保護膜を作製することができる。
技術概要
保護膜を作製する対象物であるサンプルをセットするサンプルステージと、
該サンプルステージにセットされたサンプルの表面を観察する観察機構と、
前記サンプルステージと前記観察機構との相対位置を調節する調節機構と、
前記サンプルステージに支持されたサンプルに供給する保護材が収容されるプローブと、
該プローブを支持し、前記サンプルの所要位置に前記プローブの先端の射出口を位置決めするロボットアームと、
前記プローブに接続され、該プローブに供給された保護材を射出する射出機構とを備えることを特徴とする保護膜作製装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 譲渡についての可・不可はそのときの状況によります。

登録者情報

登録者名称 株式会社信州TLO

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2020 INPIT