| 出願番号 |
特願2015-223559 |
| 出願日 |
2015/11/16 |
| 出願人 |
国立大学法人金沢大学 |
| 公開番号 |
特開2017-092356 |
| 公開日 |
2017/5/25 |
| 登録番号 |
特許第6644313号 |
| 特許権者 |
国立大学法人金沢大学 |
| 発明の名称 |
ダイヤモンドの加工方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
ダイヤモンドの加工方法 |
| 目的 |
ダイヤモンド表面へのダメージが少なく、高速で低コストのエッチングによるダイヤモンド加工方法の提供。 |
| 効果 |
本発明は、ダイヤモンドの加工を施したい部位に上記の膜を形成し、これを５００℃〜１５００℃の不活性ガスとＨ↓２Ｏとの混合ガス雰囲気中、あるいは真空下でＨ↓２Ｏガス雰囲気中に配置するだけで、上記膜を介してエッチングできる。
よって、エッチングガスは、直接ダイヤモンドをアタックしないので、エッチングダメージが殆どなく、高速で安価にエッチング加工できる。 |
技術概要
 |
ダイヤモンドの加工部位に金属又は半金属及びその合金あるいは無機化合物の膜を形成するステップと、不活性ガス及びＨ↓２Ｏの混成ガス又は真空下でＨ↓２Ｏを用いて前記膜を形成した部位をエッチング加工するステップとを有することを特徴とするダイヤモンドの加工方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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