ダイヤモンドの加工方法

開放特許情報番号
L2019000524
開放特許情報登録日
2019/4/19
最新更新日
2019/4/19

基本情報

出願番号 特願2015-223559
出願日 2015/11/16
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2017-092356
公開日 2017/5/25
発明の名称 ダイヤモンドの加工方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 ダイヤモンドの加工方法
目的 ダイヤモンド表面へのダメージが少なく、高速で低コストのエッチングによるダイヤモンド加工方法の提供。
効果 本発明は、ダイヤモンドの加工を施したい部位に上記の膜を形成し、これを500℃〜1500℃の不活性ガスとH↓2Oとの混合ガス雰囲気中、あるいは真空下でH↓2Oガス雰囲気中に配置するだけで、上記膜を介してエッチングできる。
よって、エッチングガスは、直接ダイヤモンドをアタックしないので、エッチングダメージが殆どなく、高速で安価にエッチング加工できる。
技術概要
ダイヤモンドの加工部位に金属又は半金属及びその合金あるいは無機化合物の膜を形成するステップと、不活性ガス及びH↓2Oの混成ガス又は真空下でH↓2Oを用いて前記膜を形成した部位をエッチング加工するステップとを有することを特徴とするダイヤモンドの加工方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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