プローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2019000522
開放特許情報登録日
2019/4/19
最新更新日
2019/4/19

基本情報

出願番号 特願2017-552418
出願日 2016/11/22
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2017/090582
公開日 2017/6/1
発明の名称 プローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 プローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡
目的 プローブを高速に走査することができるプローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 プローブを高速に走査することができるプローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡を提供することができる。
技術概要
長尺のプローブを走査するプローブ走査機構であって、
前記プローブの長尺方向と同一の方向の両端を貫通する第1の貫通孔を有し、前記第1の貫通孔に挿入された前記プローブを前記プローブの長尺方向に走査する圧電素子と、
前記圧電素子を収容する筒状の筐体と、
前記筐体の一端および他端にそれぞれ固定され、前記圧電素子を挟んで前記筐体に支持する一対の支持部材と、
前記一対の支持部材の一方を前記圧電素子の伸縮軸方向の一端に固定し前記一対の支持部材の他方を前記圧電素子の伸縮軸方向の他端に固定する固定部材と、
少なくとも前記プローブの先端側において、前記プローブを前記第1の貫通孔の内部に保持する保持部材とを備える
プローブ走査機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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