炭化珪素（ＳｉＣ）の成膜装置の部材のクリーニング

基本情報

出願番号	特願2012-121874
出願日	2012/5/29
出願人	大陽日酸株式会社
公開番号	特開2013-247331
公開日	2013/12/9
登録番号	特許第5904877号
特許権者	大陽日酸株式会社
発明の名称	炭化珪素除去方法
技術分野	電気・電子、化学・薬品
機能	洗浄・除去
適用製品	炭化珪素（ＳｉＣ）の成膜装置の部材のクリーニング技術
目的	炭化珪素の成膜装置の部材のクリーニングを行う。
効果	炭化珪素の成膜装置の部材について、できるだけ損傷させず、付着物を除去することができる。
技術概要	図のように、プラズマの供給と不活性ガスの吹き付けを交互に行い、付着物を除去する。それと同時に、排出ガスの経路に設けた分析装置で測定を行う。排出ガスに含まれる特定のガスの濃度が所定の閾値以下になった時、プラズマの供給と不活性ガスの吹き付けを終了する。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	大陽日酸株式会社