適用製品
炭化珪素（ＳｉＣ）の成膜装置の部材のクリーニング技術
目的
炭化珪素の成膜装置の部材のクリーニングを行う。
効果
炭化珪素の成膜装置の部材について、できるだけ損傷させず、付着物を除去することができる。
技術概要
図のように、まず、炭化珪素が付着した部材を収容するチャンバー内にプラズマ化したフッ素含有ガスを供給し、珪素成分を除去する。除去により生じる四フッ化珪素の濃度が最大になった後、５〜１０測定時間区間で連続してマイナスになった段階で、プラズマ化したフッ素含有ガスの供給を終了する。
次に、チャンバー内にプラズマ化した酸素含有ガスを供給し、炭素成分を除去する。除去により生じる二酸化炭素の濃度が最大になった後、５〜１０測定時間区間で連続してマイナスになった段階で、プラズマ化した酸素含有ガスの供給を終了する。
上記２つの工程を交互に行い、どちらかの濃度が設定した値より低くなった時、クリーニングを終了する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
