トリイソシアナトシランの精製

基本情報

出願番号	特願2013-261546
出願日	2013/12/18
出願人	大陽日酸株式会社
公開番号	特開2015-117201
公開日	2015/6/25
登録番号	特許第6243215号
特許権者	大陽日酸株式会社
発明の名称	トリイソシアナトシランの精製方法及び供給方法
技術分野	化学・薬品、有機材料
機能	材料・素材の製造
適用製品	シリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）の製膜用原料
目的	トリイソシアナトシランを高純度に精製する
効果	トリイソシアナトシランの合成の過程で生じる不純物の蒸気圧は、トリイソシアナトシランの蒸気圧と３０～５０℃異なる。この蒸気圧の差を利用することで、トリイソシアナトシランを高純度に精製できる。
技術概要	図のように、不純物を含むトリイソシアナトシランを充填した３０～６０℃、１０～６０ｋＰａの精製容器に不活性ガスを導入する。これにより、トリイソシアナトシランよりも蒸気圧の高い不純物を優先的に気層に分離し、不純物として排気することができる。不純物の濃度が設定値よりも低くなった後、さらに不活性ガスを導入すると、濃縮されたトリイソシアナトシランが気層に分離されるので、捕集容器で液化して回収する。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	大陽日酸株式会社