フッ化物ガスの分解処理方法、分解処理剤及び分解処理装置

開放特許情報番号
L2019000413 この特許をより詳しくイメージできる、登録者からの説明資料をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2019/3/26
最新更新日
2019/3/26

基本情報

出願番号 特願2008-227133
出願日 2008/9/4
出願人 中部電力株式会社
公開番号 特開2010-058063
公開日 2010/3/18
登録番号 特許第5132489号
特許権者 中部電力株式会社
発明の名称 フッ化物ガスの分解処理方法、分解処理剤及び分解処理装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、加熱・冷却
適用製品 フッ化物ガスの分解処理方法、分解処理剤及び分解処理装置
目的 フッ化物ガスの分解処理温度を低下させることができるとともに、分解処理に伴って有害なガス等が発生することを抑制できるフッ化物ガスの分解処理方法、分解処理剤及び分解処理装置を提供すること。
効果 フッ化物ガスの分解処理温度を低下させることができる。また、分解処理に伴って有害なガス等が発生することを抑制できる。
技術概要
酸化カルシウム、シリコン及びハロゲン化アルカリ金属の存在下、フッ化物ガスを熱処理するフッ化物ガスの分解処理方法であって、
ハロゲン化アルカリ金属とシリコンとが反応して、アルカリ金属ガス及びハロゲン化珪素ガスを発生させる第1反応と、
アルカリ金属ガスとフッ化物ガスとが反応して、フッ化物ガスをフッ化アルカリ金属と分解物とに分解する第2反応と、
ハロゲン化珪素ガスと酸化カルシウムとが反応して、ハロゲン化珪素ガスをハロゲン化カルシウムと二酸化珪素とに分解する第3反応と
に基づいてフッ化物ガスを分解処理することを特徴とするフッ化物ガスの分解処理方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 中部電力株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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