超近接距離の検知方法及びそれを用いた超近接スイッチ

開放特許情報番号
L2019000393
開放特許情報登録日
2019/3/15
最新更新日
2019/3/15

基本情報

出願番号 特願2016-239439
出願日 2016/12/9
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2018-096748
公開日 2018/6/21
発明の名称 超近接距離の検知方法及びそれを用いた超近接スイッチ
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 超近接距離の検知方法及び超近接スイッチ
目的 物体間の近接距離(例えば、0又は0を超え1000nm以下)を、例えば、20〜100nmの精度で検知することが可能な超近接距離の検知方法及びそれを用いた超近接スイッチを提供する。
効果 第1の物体の表面と第2の物体の先端との間の近接距離が、近接場光L↓0の局在領域の厚さ、例えば、50nm(近接場光L↓0の波長が375nm程度)から1000nm(近接場光L↓0の波長が2000nm程度)に相当する長さであるか又はそれ以下の長さであるかを検知することが可能になる。
少なくとも局在領域の厚さ、例えば、50nm(近接場光L↓0の波長が375nm程度)から1000nm(近接場光L↓0の波長が2000nm程度)の範囲で位置の変化を検知することが可能になる。
技術概要
第1の物体11の表面12と第2の物体13の先端14との間の近接距離を検知する超近接距離の検知方法であって、近接場光が局在する第1の物体11の表面12に向けて検出体を移動させて第1の物体11の表面12と検出体の先端の間隔を変化させながら、近接場光の局在領域16に検出体の先端が進入した際に生じる散乱光の強度を測定して、散乱光の強度と間隔との定量的対応関係を予め求めておき、第1の物体11の表面12に近接場光を発生させ、第2の物体13の先端14が近接場光の局在領域16に進入した際に生じる散乱光の強度を測定し、定量的対応関係に基づいて散乱光の強度に対応する間隔を求め、間隔の値を近接距離とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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