光計測システムおよび光計測方法

開放特許情報番号
L2019000380
開放特許情報登録日
2019/3/26
最新更新日
2019/3/26

基本情報

出願番号 特願2016-204385
出願日 2016/10/18
出願人 国立大学法人 筑波大学
公開番号 特開2018-066608
公開日 2018/4/26
発明の名称 光計測システムおよび光計測方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 光計測システムおよび光計測方法
目的 単純な光学系であって、多数の微粒子の形状およびサイズを推定することを可能とする、光計測システムおよび光計測方法を提供すること。
効果 単純な光学系であるが、回折限界の制約がないため、従来より10倍以上の精度で、微粒子(光散乱体)の形状およびサイズを計測することができる。
技術概要
支持台に載置された微粒子に光を照射して、前記微粒子に関する情報を取得する光計測システムであって、
レーザー光源と、
前記レーザー光源を用いて前記微粒子に照射するレーザー光の集光スポットの形状を、線状となるように調整するレーザー光集光スポット形状調整手段と、
前記レーザー光の集光スポットを、前記微粒子の位置に合うように調整するレーザー光集光スポット位置調整手段と、
前記レーザー光の光軸と直交する軸を中心に、前記微粒子と前記集光スポットとを相対的に回転させて、前記微粒子に対する前記レーザー光の入射角度を調整するレーザー光入射角度調整手段と、
前記微粒子から散乱される散乱光を利用して、前記微粒子の投影像を表示する微粒子投影像表示手段と、を備えていることを特徴とする光計測システム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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