出願番号 |
特願2005-099686 |
出願日 |
2005/3/30 |
出願人 |
国立大学法人山口大学 |
公開番号 |
特開2006-280180 |
公開日 |
2006/10/12 |
登録番号 |
特許第4660758号 |
特許権者 |
国立大学法人山口大学 |
発明の名称 |
静電アクチュエータ |
技術分野 |
電気・電子、機械・加工 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
静電アクチュエータ |
目的 |
静電引力と弾性力とを効率良く協働させることにより、静電引力の弱い初期状態からでも所定設定の高出力を取り出すことができ、しかも静電引力と弾性力の仕事量を可変して外力と釣合うギャップ間隔を任意に設定することができるため位置制御を精度良く行うことができる静電アクチュエータを提供すること。 |
効果 |
静電引力と弾性力を効率良く協働させることができるために、静電引力の弱い初期状態からでも所定設定の高出力を取り出すことができ、しかも静電引力と弾性力の仕事量を可変することができるため位置制御を精度良く行うことができる。 |
技術概要
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第1の固定電極と、該電極に対向し、出力部を一体に構成し、出力部の外部負荷によって第1の電極に接近することを妨げる力を受ける第2の可動電極と、第1の電極と第2の電極との間隔を広げることによって歪を生じ、そのエネルギーを弾性力として蓄積し、第2の電極を第1の電極に向けて押し付ける力となるばねと、両電極間に静電引力を生成するために電圧を印加する手段とを備え、電圧印加時に静電引力とばねの弾性力の合力によって第2の電極と、これと一体となった出力部を第1の電極方向に移動させる機構を有する静電アクチュエータ。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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