バーンイン試験装置

開放特許情報番号
L2018002659
開放特許情報登録日
2019/1/9
最新更新日
2019/1/9

基本情報

出願番号 特願2007-107086
出願日 2007/4/16
出願人 エスペック株式会社
公開番号 特開2008-267818
公開日 2008/11/6
登録番号 特許第4886580号
特許権者 エスペック株式会社
発明の名称 バーンイン試験装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 バーンイン試験装置
目的 デバイスの高発熱化に対応し、デバイス毎の温度制御が可能なバーンイン試験装置を提供すること。
効果 本発明のバーンイン試験装置では、試験対象となる試料体の高発熱化に対応し、試料体毎に発熱を制御することができ、各試料体の到達温度のばらつきを小さくすることができる。
技術概要
通電されると、自己発熱によって目標とした温度帯を超えて発熱する試料体を目標の温度帯に制御して試験を行うバーンイン試験装置であって、
気体を供給可能な気体供給手段と、
複数の試料体を実装可能な一又は複数の試験室と、
前記気体供給手段により供給される気体を前記試験室に向けて供給可能な送風ダクトと、
前記送風ダクトと前記試験室とを分割し、試験室に実装される試料体と対向するように配置される境界板とを備えており、
気体供給手段により送風ダクトを介して供給された気体を、試験室に実装された各試料体の発熱状況に応じ、試料体毎に流量調整して吹き付け可能であり、
各試料体に対応して前記境界板に設けられ、気体供給手段によって送風ダクトに供給された気体を試験室に対して吹き出し可能な吹出口を備え、
前記境界板において吹出口に対して隣接する位置に排気口が設けられており、
各吹出口から対応する試料体に向かう気体流路となる、試料体側に向けて突出した案内筒を備えており、
前記案内筒は、前記境界板の各吹出口に相当する位置に取り付けられていることを特徴とするバーンイン試験装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 エスペック株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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