試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び探針の製造方法

開放特許情報番号
L2018002547
開放特許情報登録日
2018/12/19
最新更新日
2018/12/19

基本情報

出願番号 特願2015-192365
出願日 2015/9/30
出願人 学校法人金沢工業大学
公開番号 特開2017-067570
公開日 2017/4/6
発明の名称 試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び探針の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び探針の製造方法
目的 試料固定用として従来使用していた基板による悪影響を無くし、高い空間自由度で試料の三次元立体画像を取得できる試料保持・走査機構、この試料保持・走査機構を備えた走査型プローブ顕微鏡及び試料保持・走査機構で用いる探針の製造方法を提供すること。
効果 本発明の試料保持・走査機構は探針を用いて試料を点で保持するので、従来のように試料を基板に載せる場合の立体形状が崩れてしまうという諸問題を本発明では解消でき、基板の影響を受けずに高い空間自由度で現実の立体形状により近い状態で三次元立体画像を取得できる。
特に、3つの探針で試料を三点保持することにすれば、試料を確実に保持できるので鮮明な三次元立体画像を取得できる。
技術概要
X軸方向に沿って対向配置した2つの探針で構成されるX軸方向探針組と、Y軸方向に沿って対向配置した2つの探針で構成されるY軸方向探針組と、Z軸方向に沿って対向配置した2つの探針で構成されるZ軸方向探針組と、前記6つの探針それぞれを少なくともXYZ軸方向に駆動させる6つの駆動機構とを最大で備えることができ、1つ以上の探針で試料を保持した状態で、他の探針が当該試料をXYZ軸方向に三次元走査することを特徴とする試料保持・走査機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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