試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び保持部の製造方法

開放特許情報番号
L2018002546
開放特許情報登録日
2018/12/19
最新更新日
2018/12/19

基本情報

出願番号 特願2015-192366
出願日 2015/9/30
出願人 学校法人金沢工業大学
公開番号 特開2017-067571
公開日 2017/4/6
発明の名称 試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び保持部の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 試料保持・走査機構、走査型プローブ顕微鏡及び保持部の製造方法
目的 試料固定用として従来使用していた基板による悪影響を無くし、高い空間自由度で試料の三次元立体画像を取得できる試料保持・走査機構、この試料保持・走査機構を備えた走査型プローブ顕微鏡及び試料保持・走査機構で用いる保持部の製造方法を提供すること。
効果 試料の両端を保持部で保持するので、試料が空中に浮いた状態になる。従来のように試料を基板に載せる場合の立体形状が崩れてしまうという諸問題を本発明では解消でき、基板の影響を受けずに高い空間自由度で現実の立体形状により近い状態で三次元立体画像を取得できる。
また、保持部を試料の両端に固着し、保持部をX軸回りやXYZ軸方向に回転・移動させることで、試料に引張、圧縮、ねじれ、剪断等の外力を付加することができ、そうした外力付加に対する試料の機械(電気・化学)的諸特性の変化を三次元立体画像化することができる。
技術概要
XYZ直交座標系におけるX軸方向に沿って対向配置した2つの保持部で構成されるX軸方向保持部組と、前記2つの保持部それぞれを少なくともX軸回りに回転させる2つの駆動機構とを備えており、
前記2つの保持部それぞれを試料の両端部に固着することを特徴とする試料保持・走査機構。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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