出願番号 |
特願2017-545818 |
出願日 |
2016/10/21 |
出願人 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
公開番号 |
WO2017/069256 |
公開日 |
2017/4/27 |
登録番号 |
特許第6806374号 |
特許権者 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
発明の名称 |
ナノ流体デバイス及び化学分析装置 |
技術分野 |
情報・通信、機械・加工 |
機能 |
検査・検出、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
ナノ流体デバイス及び化学分析装置 |
目的 |
ナノ流路を開閉できるバルブが設けられたナノ流体デバイスを提供すること。
またこれらのナノ流体デバイスを用いた化学分析装置を提供すること。 |
効果 |
ナノ流路を自在に開閉することができ、ナノ流路を流れる流体を制御することができる。 |
技術概要
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一面にナノスケールの溝を有する第1基板と、該第1基板と互いの一面同士を接合して一体に設けられ、前記第1基板の溝とともにナノ流路を形成する第2基板とを備えたナノ流体デバイスであって、
前記第1基板または前記第2基板のいずれか一方は、平面視して前記ナノ流路と重なる位置の一部に少なくとも薄肉部を備え、
前記薄肉部が押圧によって変形して前記ナノ流路を開閉するナノ流体デバイス。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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