観察システム

開放特許情報番号
L2018002247
開放特許情報登録日
2018/10/17
最新更新日
2018/10/17

基本情報

出願番号 特願2017-535578
出願日 2016/8/19
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 WO2017/030194
公開日 2017/2/23
発明の名称 観察システム
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 観察システム
目的 安価で、外乱が生じた場合であっても正しい高分解能画像を安定して得ることが可能な観察システムを提供すること。
効果 安価なシステムによって、外乱が生じた場合であっても正しい高分解能画像を安定して得ることができる。
技術概要
所定範囲のコヒーレント長を有する光源と、
第1の光路長を有し、前記光源から発せられる光の一部である第1の光を前記光源から観察対象物へ導く第1の光路と、
第2の光路長を有し、前記光の残部である第2の光を前記光源から前記観察対象物へ導く第2の光路と、
前記第1の光及び前記第2の光を干渉させて前記観察対象物上に第1の干渉縞を生成させる干渉縞生成部と、
前記第1の光の内の前記観察対象物によって反射された第1の反射光と、前記第2の光の内の前記観察対象物によって反射された第2の反射光との干渉によって生成される第2の干渉縞の光強度分布を測定する測定部と、
前記測定部に接続された演算部と、
を備え、
前記演算部は、
前記第2の干渉縞における前記光強度分布の変位量に基づいて前記第1の干渉縞における位相のシフト量を算出する、
観察システム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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