金属微細構造体の製造方法

基本情報

出願番号	特願2016-045936
出願日	2016/3/9
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2017-162984
公開日	2017/9/14
登録番号	特許第6715508号
特許権者	国立大学法人静岡大学
発明の名称	金属微細構造体の製造方法
技術分野	電気・電子
機能	材料・素材の製造、加熱・冷却
適用製品	金属微細構造体の製造方法
目的	煩雑な処理を必要とすることなく板状部材における金属構造体の微細化を容易に実現する金属微細構造体の製造方法を提供すること。
効果	煩雑な処理を必要とすることなく板状部材における金属構造体の微細化を容易に実現することができる。
技術概要	金属微細構造体を作製する金属微細構造体の製造方法であって、金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材を形成する形成ステップと、前記板状部材に所定の照射パターンでレーザ光を照射する照射ステップと、前記板状部材の一部と、前記金属塩から生じた金属イオンとのうちのいずれかを除去する除去ステップと、を備える金属微細構造体の製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学