被処理体を修飾する方法及び被処理体を修飾する装置

基本情報

出願番号	特願2016-230170
出願日	2016/11/28
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2018-087266
公開日	2018/6/7
登録番号	特許第6883838号
特許権者	国立大学法人静岡大学
発明の名称	被処理体を修飾する方法及び被処理体を修飾する装置
技術分野	有機材料、電気・電子
機能	機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品	被処理体を修飾する方法及び被処理体を修飾する装置
目的	化学的な湿式法によらない被処理体を修飾する方法を提供する。
効果	化学的な湿式法によらず、被処理体の表面を修飾することができる。
技術概要	被処理体を大気圧環境に設定された処理台上の処理空間に配置する第１工程と、前記処理空間に提供される処理ガスの処理プラズマを発生させる第２工程と、前記処理台に電圧を供給することにより、前記処理プラズマ中のイオンを前記処理台の方向へ加速させると共に加速された前記イオンを前記被処理体の処理面に衝突させる第３工程と、前記被処理体を修飾する官能基のための修飾ガスの修飾プラズマを前記処理空間に供給する第４工程と、を有する、被処理体を修飾する方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学