基板アライメント装置及びそれを備えた基板接合装置並びに基板アライメント方法及び基板接合方法

開放特許情報番号
L2018002113
開放特許情報登録日
2018/10/8
最新更新日
2018/10/8

基本情報

出願番号 特願2014-009530
出願日 2014/1/22
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2015-138879
公開日 2015/7/30
登録番号 特許第6317587号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 基板アライメント装置及びそれを備えた基板接合装置並びに基板アライメント方法及び基板接合方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 基板アライメント装置及びそれを備えた基板接合装置並びに基板アライメント方法及び基板接合方法
目的 従来よりもアライメント精度を向上させることができる基板アライメント装置及びそれを備えた基板接合装置並びに基板アライメント方法及び基板接合方法を提供すること。
効果 本発明は、従来よりもアライメント精度を向上させることができるという効果を有する基板アライメント装置及びそれを備えた基板接合装置並びに基板アライメント方法及び基板接合方法を提供することができるものである。
技術概要
それぞれの表面が互いに対向した複数の基板と、
前記複数の基板のいずれか一方の基板に埋め込まれた複数のコイルであって、これらのコイルの巻き中心軸が前記一方の基板の表面に垂直である複数の第1のコイルと、
前記複数の基板のいずれか他方の基板に埋め込まれ前記各第1のコイルと対をなす複数のコイルであって、これらのコイルの巻き中心軸が前記他方の基板の表面に垂直である第2のコイルと、
対をなす前記各第1のコイルと前記各第2のコイルとの間を所定間隔に設定した状態において前記各第1のコイルに電流を流した際に前記各第1のコイルからの相互誘導による前記各第2のコイルへの誘起電圧が最大になるよう前記複数の基板の少なくともいずれか一方の基板の位置を調整する基板アライメント調整手段と、
を備えたことを特徴とする基板アライメント調整装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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