液面検知装置と薬液処理装置

開放特許情報番号
L2018001802
開放特許情報登録日
2018/8/20
最新更新日
2018/8/20

基本情報

出願番号 特願2004-083394
出願日 2004/3/22
出願人 富士通セミコンダクター株式会社
公開番号 特開2005-274147
公開日 2005/10/6
登録番号 特許第4571422号
特許権者 富士通セミコンダクター株式会社
発明の名称 液面検知装置と薬液処理装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 液面検知装置と薬液処理装置
目的 ガス導入管から吐出した気泡を気泡誘導管によって液面に導き、気泡誘導管に液体流出孔を設けて、液泡は液体に流出させ、気泡のみを気泡誘導管から放出させて液体の飛散を防ぐ液面検知装置と、該液面検知装置を付設した薬液処理装置提供すること。
効果 気泡誘導管に液体流出孔を設けることによって、ガス導入管から吐出した気泡が液面上で破裂して液体が飛散することを防ぐことができる。従って、特に、液体の温度が高くて気泡の膨張が大きい薬液処理装置に適用すれば、薬液の飛散による目減りを大幅に削減できる効果がある。
技術概要
液体の液面の変動を検知するものであって、該液体の中にガスを圧入するガス導入管と、該ガスの背圧の変化を電気信号に変換するガス圧力センサと、該ガス導入管を外装する気泡誘導管とを有し、
該気泡誘導管は、該ガス導入管の下部開口から吐出して浮上する気泡を液面に誘導するものであって、液面近傍の上部側面に周設された液体流出孔を有しており、
該気泡誘導管の先端と該液体流出孔の上端との距離が、該気泡誘導管の長さよりも小さく、気泡の垂直方向の長さよりも大きいことを特徴とする液面検知装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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