めっき装置

開放特許情報番号
L2018001801
開放特許情報登録日
2018/8/20
最新更新日
2018/8/20

基本情報

出願番号 特願2003-065915
出願日 2003/3/12
出願人 富士通株式会社
公開番号 特開2004-270014
公開日 2004/9/30
登録番号 特許第3886919号
特許権者 富士通セミコンダクター株式会社
発明の名称 めっき装置
技術分野 金属材料、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 めっき装置
目的 めっき液の排出時にめっきが進行してめっき膜の表面に荒れが発生することを防止できるめっき装置を提供すること。
効果 被めっき材を固定する固定治具に設けられた開口部の断面形状をテーパー状にしているので、めっき槽からめっき液を排出するときに開口部内にめっき液の液溜まりが発生せず、荒れ等のない良好なめっき膜が得られる。
開口部の壁面に、開口部の縁に沿って延びる溝を形成しているので、めっき槽からめっき液を排出するときに溝に沿ってめっき液が下方に流れて、開口部の液溜まりの発生が抑制される。これにより、良好なめっき膜が得られる。
技術概要
開口部を有する固定部材に被めっき材を固定し、前記固定部材の開口部を介してめっき液と被めっき材とを接触させて電解めっきを行うめっき装置において、
前記開口部の壁面に、めっき液が浸透可能な浸透性部材が配置されていることを特徴とするめっき装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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