空気清浄装置の保守方法

開放特許情報番号
L2018001800
開放特許情報登録日
2018/8/20
最新更新日
2018/8/20

基本情報

出願番号 特願2002-367152
出願日 2002/12/18
出願人 富士通セミコンダクター株式会社
公開番号 特開2004-200402
公開日 2004/7/15
登録番号 特許第4418151号
特許権者 富士通セミコンダクター株式会社
発明の名称 空気清浄装置の保守方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 空気清浄装置
目的 クリーンルームの環境大気中に存在する塩基ガスや有機ガス等を除去するケミカルフィルタの除去寿命を予測して、同フィルタの適正な交換時期を知る。
効果 本発明の空気清浄装置の構成、およびメンテナンス方法を採ることによって、高価なケミカルフィルタをその寿命一杯使用可能となり、半導体製品のコスト低減に寄与する。
技術概要
所定のガスを吸着する材料を繊維で保持したケミカルフィルタシートを複数積層したケミカルフィルタと、
前記ケミカルフィルタ中に配置され、所定のガスを検出する一つ以上のセンサと、
を有する空気清浄装置の保守方法であって、
前記センサは、QMCセンサであり、
前記センサは、前記ケミカルフィルタの最終段のフィルタシートと最終段から1段前のフィルタシートとの間に配置されており、
前記ケミカルフィルタは、多孔質セラミックあるいは活性炭素に酸性あるいは塩基性の特定ガスと中和反応を起こす化学物質を添着し、あるいは有機系の特定ガスを選択的に捕捉しやすい多孔質セラミックあるいは活性炭素のポア径を選び、不織布のような毛足の長い繊維でセラミックあるいは活性炭素を保持してシート状に形成されたものを複数積層してなり、
前記センサの置かれたケミカルフィルタシート段数の位置と、前記センサが所定のガスを所定の量検出するまでに前記ケミカルフィルタに通風した累積時間から、前記ケミカルフィルタの交換時期を予測することを特徴とする空気清浄装置の保守方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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