流体浄化装置

開放特許情報番号
L2018001799
開放特許情報登録日
2018/8/20
最新更新日
2018/8/20

基本情報

出願番号 特願2009-237412
出願日 2002/12/9
出願人 富士通セミコンダクター株式会社
公開番号 特開2010-017713
公開日 2010/1/28
登録番号 特許第5126192号
特許権者 富士通セミコンダクター株式会社
発明の名称 流体浄化装置
技術分野 機械・加工、食品・バイオ
機能 機械・部品の製造、洗浄・除去
適用製品 流体浄化装置
目的 流体浄化装置で用いられる吸着剤フィルタの吸着能力を最大限に活用して、高度に清浄な流体を長期にわたり安定して供給するのを可能にする流体浄化装置を提供すること。
効果 光触媒の効率的な使用により、吸着剤フィルタを長寿命化し、且つ汚染物除去効率を高めた流体除去装置の利用が可能になり、クリーンルームをはじめとする環境制御の不可欠な空間の環境制御を容易にすることができる。
技術概要
被処理流体から汚染物質を除去してそれを浄化する流体浄化装置であって、被処理流体中の汚染物質を分解可能な光触媒及びこの光触媒を励起するための励起光源を有する光触媒ユニットと、被処理流体中の汚染物質を吸着し得る吸着剤フィルタユニットとを含み、被処理流体の流動方向に対し光触媒ユニットを吸着剤フィルタユニットの上流側に配置し、且つ更に、被処理流体を光触媒ユニット又は吸着剤ユニットへ選択的に導入する切り換え手段を含むとともに、当該流体浄化装置の上流側への循環経路を含み、浄化した流体中に前記汚染物質が検出された場合において、前記被処理流体を選択的に前記光触媒ユニットで浄化していたときは前記吸着剤フィルタユニットでも当該被処理流体を浄化するよう当該流体浄化装置の運転を切り換え、前記被処理流体を選択的に前記吸着剤フィルタユニットで浄化していたときは前記光触媒ユニットでも当該被処理ガスを浄化するよう当該流体浄化装置の運転を切り換え、前記光触媒ユニットと前記吸着剤フィルタユニットの両方で前記被処理流体を浄化していたときは当該流体を循環させて当該流体浄化装置において再度浄化処理することを特徴とする流体浄化装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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