出願番号 |
特願2015-099750 |
出願日 |
2015/5/15 |
出願人 |
富士通株式会社 |
公開番号 |
特開2016-217757 |
公開日 |
2016/12/22 |
登録番号 |
特許第6477225号 |
特許権者 |
富士通株式会社 |
発明の名称 |
ガスセンサデバイス部品、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
ガスセンサデバイス部品、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
目的 |
ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜が劣化しない構造を提供する。 |
効果 |
本ガスセンサデバイス部品、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システムによれば、ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜が劣化しないようにすることができる。 |
技術概要
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感応膜と、
前記感応膜の一方の側の面の少なくとも一部を覆い、ガスを検知する際に剥離可能な保護部材と、
前記感応膜の前記保護部材が設けられている側の反対側の面に設けられ、前記感応膜を介して電気的に接続される2つの電極とを備えることを特徴とするガスセンサデバイス部品。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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