| 出願番号 |
特願2015-099749 |
| 出願日 |
2015/5/15 |
| 出願人 |
富士通株式会社 |
| 公開番号 |
特開2016-217756 |
| 公開日 |
2016/12/22 |
| 登録番号 |
特許第6439577号 |
| 特許権者 |
富士通株式会社 |
| 発明の名称 |
ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
| 目的 |
ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にＣｕＢｒを用いる場合に、ＣｕＢｒ膜が劣化しない構造を提供する。 |
| 効果 |
本ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システムによれば、ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にＣｕＢｒを用いる場合に、ＣｕＢｒ膜が劣化しないようにすることができる。 |
技術概要
 |
第１ＣｕＢｒ膜と、前記第１ＣｕＢｒ膜を覆うＣｕ膜とを備える積層膜と、
前記積層膜を介して電気的に接続される２つの電極とを備えることを特徴とするガスセンサ用デバイス。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)