出願番号 |
特願2015-099749 |
出願日 |
2015/5/15 |
出願人 |
富士通株式会社 |
公開番号 |
特開2016-217756 |
公開日 |
2016/12/22 |
登録番号 |
特許第6439577号 |
特許権者 |
富士通株式会社 |
発明の名称 |
ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム |
目的 |
ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にCuBrを用いる場合に、CuBr膜が劣化しない構造を提供する。 |
効果 |
本ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システムによれば、ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にCuBrを用いる場合に、CuBr膜が劣化しないようにすることができる。 |
技術概要
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第1CuBr膜と、前記第1CuBr膜を覆うCu膜とを備える積層膜と、
前記積層膜を介して電気的に接続される2つの電極とを備えることを特徴とするガスセンサ用デバイス。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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