シリコン結晶鋳造炉

開放特許情報番号
L2018001643
開放特許情報登録日
2018/7/27
最新更新日
2018/7/27

基本情報

出願番号 特願2012-167854
出願日 2012/7/30
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2014-024729
公開日 2014/2/6
登録番号 特許第5979664号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 シリコン結晶鋳造炉
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 鋳造・鍛造
適用製品 シリコン結晶鋳造炉
目的 従来に比べて炭素混入量の少ないシリコン結晶を製造することができるシリコン結晶鋳造炉を提供すること。
効果 本発明のシリコン鋳造炉では周囲環境から内部に入り込む炭素含有ガスをその導入経路を通過する間にWCの形で固定するとともに、導入経路中に炭素を含有する固形物であるごみを生成しないので、シリコン鋳造炉内のルツボ中で成長するシリコン結晶への炭素混入量を、装置や製造工程を複雑化することなく大幅に低減することができる。
技術概要
シリコン融液からシリコン結晶を析出させるルツボと、前記ルツボに不活性ガスを導入するガス導入装置とを設け、
前記ガス導入装置の内の前記不活性ガスが接触する箇所の内面の少なくとも一部はタングステンである、
シリコン結晶鋳造炉において
前記不活性ガスが接触する前記箇所は前記不活性ガスを前記ルツボに導入する管及び前記ルツボを覆うキャップを含む、シリコン結晶鋳造炉。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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