金属ケイ化物形成方法

開放特許情報番号
L2018001634
開放特許情報登録日
2018/7/27
最新更新日
2018/7/27

基本情報

出願番号 特願2012-205508
出願日 2012/9/19
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2014-058429
公開日 2014/4/3
登録番号 特許第5979667号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 金属ケイ化物形成方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 金属ケイ化物の形成方法
目的 液体アンモニアに溶解する金属のシリサイドを簡単なプロセスで安価に得ること。
効果 室温以下のプロセスで、電力や熱の消費を抑制できる。従って、安価な製造設備を使用することができ、また製造プロセスの運用経費も低く抑えることができる。金属を溶解した液体アンモニアにシリコン製の基材を浸漬するあるいは基材に塗布するという1回の簡単なステップで基材上にアルカリ土類金属等の膜を形成でき、アンモニア溶液中のアルカリ土類金属等の濃度を調節することで、この膜の厚みを広い範囲で制御できる。その後加熱処理、少ないステップで短時間のうちに基材上にアルカリ土類金属等のケイ化物の膜を形成することができる。
技術概要
金属を溶解した液体アンモニアを少なくとも表面がシリコンでできたシリコン基材に被着し、アンモニアを前記シリコン基材から蒸発させ、前記基材を不活性雰囲気中で昇温させて前記金属のケイ化物を前記シリコン基材の表面に形成する、金属ケイ化物の形成方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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