電子線後方散乱回折測定装置

開放特許情報番号
L2018001523
開放特許情報登録日
2018/7/24
最新更新日
2018/7/24

基本情報

出願番号 特願2013-145573
出願日 2013/7/11
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2015-017899
公開日 2015/1/29
登録番号 特許第6229183号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 電子線後方散乱回折測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子線後方散乱回折測定装置
目的 電子銃と試料ステージの配置を改良することによって、大面積の試料に対してもEBSD測定を容易に行うことができるようにすること。
効果 従来よりも大面積の試料を測定できるEBSD装置を容易に実現できるようになる。
技術概要
試料を載置する面が水平面であり、前記試料を水平に移動することができる試料ステージと、
前記試料を載置する面の上面側に設置され、前記試に対して前記電子銃が設置されている側とは反対側に前記検出器の中心がくるように設置された、
電子線後方散乱回折測定装置。料に対して鉛直方向に対して傾斜した所定の角度で電子線を照射する電子銃と、
前記試料からの電子線後方散乱を検出する検出器を備えてチャネリング図形を取得する電子線後方散乱回折測定装置であって、
前記検出器は、前記試料を載置する面の上面側で、かつ前記試料の鉛直面に対して前記電子銃が設置されている側とは反対側に前記検出器の中心がくるように設置された、電子線後方散乱回折測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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